[发明专利]批次制程的虚拟量测方法与系统

摘要

本发明批次制程的虚拟量测方法与系统，包括对一批待加工晶圆执行一制程后输出加工后的晶圆的制程机台，制程机台输出分别与制程控制系统和错误侦测与分类系统相接，靠近制程控制系统的输出部分设有量测机台，制程控制系统、错误侦测与分类系统、量测机台输出分别连接数据接收引擎模块输入，数据接收引擎模块输出连接计算机。本发明采用先进的制程控制、以工业统计方法对晶圆及时分析和处理，找到影响制程变化的关键变量，以滚动时间窗口及时捕获系统发生的工况变化，平移与漂移对建模的不利影响，提高模型的鲁棒性，减少晶圆处理的周期时间，改善制程工具的运作，减少量测工具的负担以及晶圆的成本，所建立的推理模型适用于制程的故障诊断。

主权项

一种批次制程的虚拟量测系统，包括对一批待加工晶圆(120)执行一制程后输出加工后的晶圆(170)的制程机台(110)，其特征是：所述制程机台(110)的输出通过信号线分别与制程控制系统(190)和错误侦测与分类系统(130)相接，靠近制程控制系统(190)的输出部分设有量测机台(160)，所述制程控制系统(190)、错误侦测与分类系统(130)、量测机台(160)的输出分别通过信号线连接数据接收引擎模块(140)的输入，数据接收引擎模块(140)的输出连接计算机(150)；所述制程控制系统(190)监控加工过程并记录相应的数据；所述量测机台(160)位于加工后的晶圆(170)下方位置且从加工后的晶圆(170)里抽取的抽样量测晶圆(180)取得实际量测值；所述错误侦测与分类系统(130)在加工后的晶圆(170)批量完成后产生错误侦测与分类数据；所述数据接收引擎模块(140)接收错误侦测与分类系统(130)、制程控制系统(190)与量测机台(160)的所有数据并送至计算机(150)；所述计算机(150)执行虚拟量测自动化程序，对数据进行前处理和数据的筛选后完成晶圆的质量预测。