[发明专利]光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法有效
| 申请号： | 201010263339.2 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102004276A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 程冠晓;胡超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/42;G21K7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。此外，还提供光子筛相衬物镜的制造方法及成像方法。上述光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法，采用光子筛透镜抑制旁瓣和高阶衍射焦点，成像分辨率和成像对比度高；光子筛透镜与变相板刻蚀在同一基底上且变相板设在光子筛透镜的表面，光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上，能够精确对准，同时降低了曝光时间和曝光剂量，可以实现弱吸收材料内部微细结构的高成像分辨率和高成像衬度无损探测。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 筛相衬 物镜 制造 方法 成像 | ||
【主权项】：
一种光子筛相衬物镜，其特征在于，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。
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