[发明专利]平面螺旋电感有效
| 申请号： | 201010263865.9 | 申请日： | 2010-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102208405A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 石艳玲;李曦;张建军;赵宇航;王勇 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/00 | 分类号： | H01L27/00;H01F37/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200062*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面螺旋电感，所述平面螺旋电感包括：半导体衬底；介质层，形成于所述半导体衬底上；平面螺旋电感主体，形成于所述介质层上；绝缘隔离结构，形成于所述半导体衬底中并与所述平面螺旋电感主体相对应。本发明提供的平面螺旋电感增加了绝缘隔离结构，所述绝缘隔离结构可降低平面螺旋电感的衬底损耗；并且，所述绝缘隔离结构的工艺与CMOS的前端工艺兼容，可不增加任何制备成本，提高平面螺旋电感的品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 螺旋 电感 | ||
【主权项】：
一种平面螺旋电感，包括：半导体衬底；介质层，形成于所述半导体衬底上；平面螺旋电感主体，形成于所述介质层上；绝缘隔离结构，形成于半导体衬底中并与所述平面螺旋电感主体相对应。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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