[发明专利]基于硅基表面等离子体波导的超宽带光参量放大器无效
| 申请号： | 201010266850.8 | 申请日： | 2010-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101957534A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 周淦;王涛;张亮;胡小锋;苏翼凯 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02F1/39 | 分类号： | G02F1/39;G02B6/122 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体技术领域的基于硅基表面等离子体波导的超宽带光参量放大器，包括：可调谐激光器、泵浦激光器、表面等离子波导和光耦合器，其中：可调谐激光器和泵浦激光器的输出端分别与光耦合器相连，光耦合器将泵浦光和信号光耦合后依次输出至表面等离子波导。本发明通过将功率为0.5W的泵浦光和低功率的信号光同时入射到长为20微米所述波导结构中，在输出端得到的信号光有14dB的增益以及工作带宽为202纳米包含S-band、C-band以及L-band波段，器件尺寸为100nm×5nm×20μm，增强了其纳米集成程度，并降低了输入泵浦光功率，降低了能耗，提高了泵浦效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 等离子体 波导 宽带 参量放大器 | ||
【主权项】：
一种基于硅基表面等离子体波导的超宽带光参量放大器，包括：可调谐激光器、泵浦激光器、表面等离子波导和光耦合器，其中：可调谐激光器和泵浦激光器的输出端分别与光耦合器相连，光耦合器将泵浦光和信号光耦合后依次输出至表面等离子波导，其特征在于：所述的表面等离子波导包括：脊形硅波导、金属银阶梯结构层以及聚合物间隙层，其中：金属银阶梯结构层通过聚合物间隙层与脊形硅波导在垂直方向上相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010266850.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
