[发明专利]激光多参数实时测量装置

摘要

本发明涉及一种对激光束进行多参数实时测量的装置，包括被测激光光源、用于将激光分送到各个测量装置的分光装置、用于控制分光装置和各个测量装置的控制装置、频域相关参数测量装置、时域相关参数测量装置、空间相关参数测量装置、能量/功率相关参数测量装置、偏振状态相关参数测量装置、设置于各个测量装置后，用于收集各个测量装置的测量结果，进行数据处理、统计的测量参数综合处理装置、设置于测量参数综合处理装置后，用于显示测量结果的显示装置。采用本发明，能够同时针对被测激光光源进行多方面的测量，实现对激光光源输出特性的全面、高效、实时测量和监控，为激光器的调试和研究提供了更快速、更便捷的测量。

主权项

一种激光参数测量系统，包括被测光源，其特征在于，还包括：分光装置，用来实现将被测激光光源输出的光按照适当的比例分配到各个测试系统中；频域相关参数测量装置，来实现对中心波长、光谱宽度、光谱分布等频域相关参数的测量；时域相关参数测量装置，来实现对重复频率、脉冲宽度、脉冲稳定性等时域相关参数的测量；空间相关参数测量装置，来实现对光斑尺寸、光斑调制度、发散角、指向性、光束质量因子等空间上的相关参数测量；能量/功率相关参数测量装置，来实现对单脉冲能量、能量稳定性、平均功率、功率稳定性、输出信噪比等能量/功率相关参数的测量；偏振状态相关参数测量装置，来实现对偏振方向、偏振度等相关参数的测量；测量参数综合处理装置，用来进行相关测量参数综合处理(汇总、计算、统计等)，来实现对束腰位置、M2因子等相关参数的实时计算；显示装置，与上述装置连接，显示所述装置获取的所述被测激光的参数。控制装置，用于对各个测量装置以及分光装置进行控制，包括实现开启关闭、同步触发等功能。