[发明专利]利用金属介质的超声波干式清洗机

摘要

本发明体用一种利用金属介质的超声波干式清洗机，当对清洗对象物质，进行干式清洗时，破坏以一定的速度移动的基板上所形成的，具有厚度25μm的边界层，从而消除在其领域内的基板上所附着的非粘着性异物质。本发明的超声波干式清洗机，包括：发生超声波的超声波加振子；金属介质支架犄角(8)；内部安装金属介质支架犄角(8)的金属介质支架(7)；分别形成于金属介质支架(7)上，衰减超声波的传输的多层(段)频率传输切断槽(2)；排出压缩空气的狭缝(3)；排出压缩空气的压缩空气排出部(6)；真空吸入口(4)；吸入浮游的非粘着性异物质的真空吸入部(5)；中和清洗对象物质上带电的异物质的电离装置(9)。

主权项

一种利用金属介质的超声波干式清洗机，能够破坏清洗对象物质中所形成的边界层，以清洗其内部所存在的异物质，其包括：压缩空气排出部(6)、真空吸入部(5)、超声波加振子(1)、中和带电的异物质的电离装置，其特征在于，包括：发生20～40KHz超声波的超声波加振子；通过与超声波加振子(1)，以面相接触，来加振超声波，并使超声波传输到清洗对象物质中的，其结构形成为上部宽而下部窄，内部空，因此，能够使从超声波加振子上发生的超声波，在下部聚集后，与压缩空气一起排出的金属介质支架犄角(8)；在其内部安装了金属介质支架犄角(8)的金属介质支架(7)；分别形成于金属介质支架(7)上，来衰减从金属介质支架犄角(8)的超声波传输的，频率传输切断槽(2)；通过形成于金属介质支架犄角(8)所形成的空间部，并位于其空间部下部的压缩空气排出狭缝(3)，排出压缩空气的压缩空气排气部(6)；形成于分为上述金属介质支架犄角(8)和金属介质支架(7)的两侧空间部，并位于其下部，且通过真空吸入口(4)，吸入浮游的非粘着性异物质的真空吸入部(5)；以及在上述金属介质支架(7)的两侧，分别与该金属介质支架(7)的两侧，相隔一定的距离安装，并中和清洗对象物质中带电的异物质的电离装置(9)。