[发明专利]太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台无效
申请号: | 201010270171.8 | 申请日: | 2010-09-02 |
公开(公告)号: | CN102384913A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 陈建安 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89;G01R31/26 |
代理公司: | 北京明和龙知识产权代理有限公司 11281 | 代理人: | 郁玉成 |
地址: | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 太阳能晶圆位置校准装置及具有该检测装置的检测机台,是由一个移载装置将太阳能晶圆移载至一道输送带上以进行输送,且机台上设有光学检测装置及光照检测装置,并对应于各项检测装置的检测位置更设有一个夹持件,其夹持件是用以进行太阳能晶圆于移载及输送过程中发生偏移时,于检测装置在进行检测前先行校准,其校准方式是对应位于各检测位置的太阳能晶圆从宽度方向由外往内夹持的方式进行校准,使得太阳能晶圆位于检测位置时不会歪斜,令太阳能晶圆可以保持在各检测位置的正确范围内,最后将各个检测数据传至分类系统作为分类依据。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 位置 校准 装置 具有 检测 机台 | ||
【主权项】:
一种太阳能晶圆检测机台的位置校准装置,其特征在于,是供该检测机台校准复数个太阳能晶圆位置,其中上述太阳能晶圆分别具有一个收光面、及复数个位于该收光面并供将所接收光能转换为电能输出的导电汇流排,该检测机台包括一个沿一个移载方向载送上述待测太阳能晶圆的移载装置、一组设置在对应上述移载装置的至少一个受测位置的检测装置,其中该位置校准装置包括:至少一组夹持件,包括:一个固定臂,及一个沿一个与该移载方向夹一角度的宽度方向相对该固定臂设置、并可沿对应上述宽度方向相对该固定臂移动的活动臂;及至少一组夹持驱动件,是对应上述至少一组夹持件、并包括一个用来当受该移载装置承载的上述待测太阳能晶圆位于该受测位置时,驱动该活动臂使上述待测太阳能晶圆沿该宽度方向被保持在一个对应上述受测位置的预定位置的驱动器。
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