[发明专利]微系统有效
| 申请号： | 201010270684.9 | 申请日： | 2010-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102009942A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | C·雷蒂希;A·弗兰克;A·费伊 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微系统，该微系统具有与周围环境隔开的第一腔和与周围环境隔开的第二腔。该第一腔通过第一接合连接限界并且第二腔通过第二接合连接限界。在此，第一接合连接或者第二接合连接是共晶接合连接或者扩散钎焊连接。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
微系统(100)，具有一与周围环境隔开的第一腔(210)和一与周围环境隔开的第二腔(310)，其中，所述第一腔(210)通过第一接合连接(240)限界并且所述第二腔(310)通过第二接合连接(340)限界，其特征在于，所述第一接合连接(240)或者所述第二接合连接(340)是共晶接合连接或者扩散钎焊连接。
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