[发明专利]电阻的器件失配的修正方法

摘要

本发明公开了一种电阻的器件失配的修正方法，首先，确定电阻的工艺失配参数为4个，分别为方块电阻、终端电阻、电阻宽度的偏移量、电阻值；其次，设定这4个参数的随机偏差；再次，对电阻的器件失配进行修正。本发明可以在SPICE软件中对电阻的器件失配进行仿真分析，而且充分考虑到电阻宽度W、电阻长度L和器件间距D对电阻的器件失配的影响。

主权项

1.一种电阻的器件失配的修正方法，其特征是：首先，确定电阻的工艺失配参数为4个，分别为方块电阻、终端电阻、电阻宽度的偏移量、电阻值；其次，设定方块电阻的随机偏差设定终端电阻的随机偏差设定电阻宽度的偏移量的随机偏差设定电阻值的随机偏差σΔR2=σΔRS2×L2(W+ΔW)2+σΔREND2×1(W+ΔW)2+σΔW2×[L×RS(W+ΔW)2+REND(W+ΔW)2]2;]]>其中W为电阻宽度、L为电阻长度、D为电阻之间的间距、RS为方块电阻、REND为终端电阻、ΔW为电阻宽度的偏移量，S_ΔRS、T_ΔRS、S_ΔREND、T_ΔREND、S_ΔW、T_ΔW为随机偏差修正因子；再次，对电阻的器件失配进行修正，具体包括：R=R_original×[1+L(W+ΔW)×SΔRSW×L×agauss(0,1,3)+1(W+ΔW)SΔRENDW×L×agauss(0,1,3)]]>+(L×RS(W+ΔW)2+REND(W+ΔW)2)×SΔWL×agauss(0,1,3)+D×TΔALL×agauss(0,1,3)]]]>其中R为修正后的电阻值，R_original为原始的电阻值，T_ΔALL为随机偏差修正因子；所述agauss(0,1,3)表示期望值为1、标准差为1/3的正态分布取值范围内的随机数；所述随机偏差修正因子S_ΔRS和S_ΔREND仅与W和L相关，所述随机偏差修正因子S_ΔW仅与L相关，所述随机偏差修正因子T_ΔRS、T_ΔREND、T_ΔW和T_ΔALL仅与D相关；所述随机偏差修正因子S_ΔRS、T_ΔRS、S_ΔREND、T_ΔREND、S_ΔW、T_ΔW、T_ΔALL的计算包括如下步骤：第1步，从实际测试得到的电阻的器件失配数据中，挑选出L取值最大的数据，再从中挑选出W取值最大的一组数据；将该组数据代入公式σΔRS2=D2×TΔRS2,]]>σΔREND2=D2×TΔREND2,]]>σΔW2=D2×TΔW2,]]>R=R_original×[1+(L×RS(W+ΔW)2+D×TΔALL×agauss(0,1,3)];]]>得到不同D取值所对应的T_ΔRS、T_ΔREND、T_ΔW和T_ΔALL的取值；第2步，将第1步得到的任意D取值所对应的T_ΔRS取值代入公式得到不同W和L取值所对应的S_ΔRS取值；将第1步得到的任意D取值所对应的T_ΔREND取值代入公式得到不同W和L取值所对应的S_ΔREND取值；将第1步得到的任意D取值所对应的T_ΔW取值代入公式得到不同L取值所对应的S_ΔW取值。