[发明专利]用于晶体硅太阳能电池的减反钝化复合膜及其制备方法

摘要

晶体硅太阳能电池的减反钝化复合膜，用于提高太阳能电池封装后组件的效率。所述复合膜由二层膜构成，一层含氢氮化硅层(2)，第二层为二氧化钛层(3)。其中含氢氮化硅层(2)直接沉积在晶体硅电池的朝向阳光的表面上，起到对电池的钝化作用。所述的二氧化钛层(3)则沉积在含氢氮化硅层(2)的表面上，起到减少入射光的反射的作用。本发明的减反钝化膜的制备方法为先在晶体硅太阳能电池(1)的表面上用等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法沉积含氢氮化硅层(2)，然后在含氢氮化硅层(2)上用热喷涂工艺沉积二氧化钛层(3)，也可以用常压化学气相沉积(APCVD)方法沉积二氧化钛层(3)。此减反钝化复合膜的制作工艺简单，易于在工业化生产中实现。

主权项

一种用于晶体硅太阳能电池的减反钝化复合膜，其特征在于：所述的减反钝化复合膜由一层含氢氮化硅层(2)和一层二氧化钛层(3)组成，所述的含氢氮化硅层(2)直接沉积在晶体硅太阳能电池的朝向阳光的表面上；所述的二氧化钛层(3)则沉积在该含氢氮化硅层(2)上。