[发明专利]氧化铟锡靶材浆料的制备方法

摘要

氧化铟锡靶材浆料的制备方法，是以氧化铟锡纳米粉体、粘结剂A、分散剂B和溶剂C为原料，在常温条件下利用球磨罐进行12～48hrs球磨而成。其中：氧化铟锡纳米粉体的粒径在5～300nm，纯度大于等于3N；粘结剂A和分散剂B的纯度≥99.5％；粘结剂A、分散剂B和溶剂C的质量比为0.5～3.0∶1～5∶100；氧化铟锡纳米粉体与粘结剂A、分散剂B和溶剂C组成的混合溶液的质量比1∶0.2～2.0。氧化铟锡纳米粉体浆料纯度高、分散性好，团聚少，粒径在5～300nm之间，粒径分布范围窄，完全符合制备高性能氧化铟锡靶材的要求。工艺简单，成本低，过程易于控制，便于大规模工业化生产。

主权项

氧化铟锡靶材浆料的制备方法，其特征在于工艺步骤为：以氧化铟锡纳米粉体、粘结剂A、分散剂B和溶剂C为原料，在常温条件下利用球磨罐进行12～48hrs球磨而成；其中：氧化铟锡纳米粉体的粒径在5～300nm，纯度大于等于3N；粘结剂A和分散剂B的纯度≥99.5％；粘结剂A、分散剂B和溶剂C的质量比为0.5～3.0∶1～5∶100；氧化铟锡纳米粉体与粘结剂A、分散剂B和溶剂C组成的混合溶液的质量比1∶0.2～2.0；所述粘结剂A选自纯丙乳液、苯丙乳液、硅丙乳液、醋丙乳液、丙烯酸乳胶中的1种；分散剂B选自聚乙二醇、聚丙烯酸铵、聚乙烯醇中的1种；溶剂C选自去离子水、乙醇、丙酮中的1种。