[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法有效
| 申请号： | 201010277683.7 | 申请日： | 2010-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN102012643A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 池田文彦;三根阳介;大西辰己 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够在对被处理基板上的涂敷膜迅速地进行减压干燥处理的工艺和缓慢地进行减压干燥处理的工艺之间有选择性地进行切换。在该减压干燥单元(214)中，气流控制部(260)包括：位于下部腔室(224)的沿Y方向相对的侧壁224(2)、224(4)的内侧、并配置在载置台(230)的两侧的第一分隔板(262A、262B)；使该第一分隔板(262A、262B)在第一高度位置和第二高度位置之间升降移动的第一升降机构(264)。而且，气流控制部(260)包括：配置在载置台(230)的周围或旁边的、横截面呈コ字状的第二分隔板(276)；使该第二分隔板(276)在第三高度位置和第四高度位置之间升降移动的第二升降机构(278)。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种减压干燥装置，该减压干燥装置是对涂敷有处理液的被处理基板进行上述处理液的减压干燥处理而形成涂敷膜的减压干燥装置，其特征在于，包括：腔室，其用于收容被处理基板，并形成处理空间；保持部，其被设于上述腔室内，用于保持上述被处理基板；第一升降部件，其用于使上述保持部升降移动；气流控制部，其被设于上述保持部的下方；第二升降部件，其用于使上述气流控制部升降移动；排气口，其形成于上述腔室内；排气部件，其自上述排气口对腔室内的气氛进行排气。
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