[发明专利]湿处理装置及湿处理方法有效
| 申请号： | 201010278398.7 | 申请日： | 2010-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN102404937A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 林钊文 | 申请（专利权）人： | 富葵精密组件(深圳)有限公司;臻鼎科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;B05B13/02;B05C3/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种湿处理装置包括第一湿处理单元、第二湿处理单元、清洗单元、收板槽和放板单元。所述清洗单元、收板槽和放板单元均位于所述第一湿处理单元和第二湿处理单元之间。所述清洗单元包括相对的引导传送机构和清洗液喷淋机构。所述引导传送机构用于将经所述第一湿处理单元处理后的基板传送至收板槽。所述清洗液喷淋机构用于向所述引导传送机构传送的基板喷淋清洗液。所述收板槽内盛有保存液，用于浸置自引导传送机构传送的基板。所述放板单元与收板槽相对，用于从所述收板槽的保存液中吸取基板，并将所述基板放置于所述第二湿处理单元以进行第二湿处理。本发明还提供一种湿处理方法。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种湿处理装置，用于对基板进行湿处理，所述湿处理装置包括第一湿处理单元、第二湿处理单元、清洗单元、收板槽和放板单元，所述清洗单元、收板槽和放板单元均位于所述第一湿处理单元和第二湿处理单元之间，所述第一湿处理单元用于对基板进行第一湿处理，其具有用于储存第一湿处理液的第一储存槽，所述第二湿处理单元用于对基板进行第二湿处理，其具有用于储存第二湿处理液的第二储存槽，所述清洗单元用于对基板进行清洗，其包括引导传送机构和清洗液喷淋机构，所述引导传送机构用于将经所述第一湿处理单元处理后的基板传送至收板槽，所述清洗液喷淋机构与所述引导传送机构相对，用于向所述引导传送机构传送的基板喷淋清洗液，所述收板槽内盛有保存液，用于浸置自引导传送机构传送的基板，所述放板单元与收板槽相对，用于从所述收板槽的保存液中吸取基板，并将所述基板放置于所述第二湿处理单元以进行第二湿处理。
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