[发明专利]搬送机构和加工装置

摘要

本发明提供搬送机构和加工装置，其能够缩短在盒和工件的作业区域之间搬送工件时的搬送行程，能够实现小型化。在一个方向、即从收纳区域(A1)朝向作业区域(A3)的方向上，搬送机构如下动作：将由第一夹持部(71)保持的半导体晶片(W)从收纳区域抽出至临时放置区域(A2)，并且使推挽臂(61)在临时放置区域绕到半导体晶片的后端侧，利用第二抵接部(75)将半导体晶片推入作业区域。在另一方向、即从作业区域朝向收纳区域的方向上，搬送机构如下动作：将由第二夹持部(72)保持的半导体晶片从作业区域抽出至临时放置区域，并且使推挽臂在临时放置区域绕到半导体晶片的后端侧，利用第一抵接部(74)将半导体晶片推入收纳区域。

主权项

一种搬送机构，其特征在于，该搬送机构包括：搬送臂，该搬送臂在收纳区域、临时放置区域以及工件的作业区域之间搬送所述工件，所述收纳区域是将所述工件收纳于盒内的区域，所述临时放置区域是与所述收纳区域相邻并临时放置所述工件的区域，所述工件的作业区域隔着所述临时放置区域与所述工件的收纳区域对置；以及移动机构，该移动机构在一个方向上和另一个方向上使所述搬送臂移动，所述一个方向是从所述收纳区域朝向所述作业区域的方向，所述另一个方向是从所述作业区域朝向所述收纳区域的方向，在所述搬送臂的所述收纳区域侧设有：对所述工件的在所述一个方向上的前端侧进行保持的第一保持部；以及与所述工件的在所述另一个方向上的后端侧抵接的第一抵接部，在所述搬送臂的所述作业区域侧设有：对所述工件的在所述另一个方向上的前端侧进行保持的第二保持部；以及与所述工件的在所述一个方向上的后端侧抵接的第二抵接部，所述移动机构能够执行以下动作：在所述一个方向上使所述搬送臂移动，以将保持于所述第一保持部的所述工件从所述收纳区域抽出至所述临时放置区域的动作；在所述一个方向上，使所述搬送臂在所述临时放置区域绕至所述工件的后端侧，并使所述搬送臂移动，以利用所述第二抵接部将所述工件推入所述作业区域的动作；在所述另一个方向上使所述搬送臂移动，以将保持于所述第二保持部的所述工件从所述作业区域抽出至所述临时放置区域的动作；以及在所述另一个方向上，使所述搬送臂在所述临时放置区域绕至所述工件的后端侧，并使所述搬送臂移动，以利用所述第一抵接部将所述工件推入所述收纳区域的动作。