[发明专利]用于薄膜硅光电装置的硅烷的添加剂

摘要

本发明涉及用于薄膜硅光电装置的硅烷的添加剂。本发明的目的是使用化学添加剂来提高无定形硅薄膜(αSi:H)和/或微晶硅薄膜(μCSi:H)的淀积过程的速率，并且提高该淀积的薄膜用于制造薄膜基光伏(TFPV)装置的光电导膜的电流生成能力。

主权项

一种在基底上淀积作为光电导膜的太阳能级无定形硅薄膜(αSi:H)的方法，其使用甲硅烷；氢；和至少一种选自以下的添加剂：(a)更高级直链硅烷，包括：乙硅烷Si2H6、丙硅烷Si3H8、丁硅烷Si4H10、戊硅烷Si5H12、己硅烷Si6H14、庚硅烷Si7H16、辛硅烷Si8H18、壬硅烷Si9H20、癸硅烷Si10H22及其混合物；(b)更高级支链硅烷，包括：2‑甲硅烷基‑丙硅烷SiH3‑Si(H)(SiH3)‑SiH3、2，2‑二甲硅烷基‑丙硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑SiH3、2‑甲硅烷基‑丁硅烷SiH3‑Si(H)(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，3‑二甲硅烷基丁硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH3、2，2‑二甲硅烷基丁硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑SiH2‑SiH3、3‑甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2‑甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH2‑SiH3、2，3‑二甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，4‑二甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH3、2‑甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑(SiH2)3‑SiH3、3‑甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH2‑SiH(SiH3)‑(SiH2)2‑SiH3、2，2‑二甲硅烷基戊硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑(SiH2)2‑SiH3、3，3‑二甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH2‑Si(SiH3)2‑SiH2‑SiH3、2，2，3‑三甲硅烷基丁硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑SiH(SiH3)‑SiH3、2‑甲硅烷基庚硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑(SiH2)4‑SiH3、3‑甲硅烷基庚硅烷SiH3‑SiH2‑SiH(SiH3)‑(SiH2)3‑SiH3、4‑甲硅烷基庚硅烷SiH3‑(SiH2)2‑SiH(SiH3)‑(SiH2)2‑SiH3、2，2‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑(SiH2)3‑SiH3、2，3‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑(SiH2)2‑SiH3、2，4‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，5‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑(SiH2)2‑SiH(SiH3)‑SiH3、3，3‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH2‑Si(SiH3)2‑(SiH2)2‑SiH3、3，4‑二甲硅烷基己硅烷SiH3‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，2，3‑三甲硅烷基戊硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，2，4‑三甲硅烷基戊硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH3、2，3，3‑三甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑Si(SiH3)2‑SiH2‑SiH3、2，3，4‑三甲硅烷基戊硅烷SiH3‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH3、2，2，3，3‑四甲硅烷基丁硅烷SiH3‑Si(SiH3)2‑Si(SiH3)2‑SiH3及其混合物；(c)环硅烷，选自：环丙硅烷Si3H6、环丁硅烷Si4H8、环戊硅烷Si5H10、环己硅烷Si6H10及其混合物；(d)甲硅烷基取代的环硅烷，选自：甲硅烷基环丁硅烷SiH3‑Si4H7、1，2‑二甲硅烷基环戊硅烷(SiH3)2‑Si5H8、甲硅烷基环己硅烷SiH3‑Si6H11、1，3‑二甲硅烷基环己硅烷(SiH3)2‑Si6H10及其混合物；(e)甲硅烷基取代的硅烯，选自：2‑丁硅烯SiH3‑SiH＝SiH‑SiH3、2，3‑二甲硅烷基丁硅‑2‑烯SiH3‑Si(SiH3)＝Si(SiH3)‑SiH3、2，3‑二甲硅烷基戊硅‑2‑烯SiH3‑Si(SiH3)＝Si(SiH3)‑SiH2‑SiH3、2，5‑二甲硅烷基己硅‑2‑烯SiH3‑Si(SiH3)＝SiH‑SiH2‑SiH(SiH3)‑SiH3、2，3，4‑三甲硅烷基己硅‑2‑烯SiH3‑Si(SiH3)＝Si(SiH3)‑SiH(SiH3)‑SiH2‑SiH3及其混合物；(f)卤代硅烷，包括：1，1‑二氯乙硅烷SiHCl2SiH3、1，1，1，2‑四氟乙硅烷SiF3‑SiH2F、1，2‑二氯‑1，2‑二氟丁硅烷SiHClF‑SiClF‑SiH2‑SiH3、1，1，1‑三氯丙硅烷SiCl3‑SiH2‑SiH3、1，1‑二氟‑1，2，2‑三氯丙硅烷SiF2Cl‑SiCl2‑SiH3、氯代戊硅烷SiH2Cl‑(SiH2)3‑SiH3和通式为SiwH2w+2‑zXz的其他化合物，其中X＝F、Cl、Br、I，w可为1‑20，且z可为1至2w+2；2‑氯丁硅‑2‑烯SiH3‑SiCl＝SiH‑SiH3、1，1‑二氯‑2‑氟戊硅‑2‑烯SiHCl2‑SiF＝SiH2‑SiH2‑SiH3、2，3‑二氯丁硅‑2‑烯SiH3‑SiCl＝SiCl‑SiH3和通式为SiwH2w‑zX’z的其他化合物，其中X’＝F、Cl、Br、I，w可为2‑20和z可为1至2w；及其混合物；和(g)卤代环硅烷，选自氯代环戊硅烷Si5H9Cl、十二氯环己硅烷Si6Cl12、1‑氯‑1‑氟环戊硅烷Si5H8FCl及其混合物。