[发明专利]使用扫描电镜测量固体颗粒膜片的扫描方法

摘要

本发明属于计量技术领域，涉及对扫描电镜测量固体颗粒膜片扫描方法的改进。扫描的步骤如下：固定膜片和调节扫描电镜参数；确定扫描电镜的扫描区域和扫描视场；扫描第一扫描区域；扫描第二扫描区域；扫描第三扫描区域。本发明避免了同一区域的重复扫描，统计计数结果的重复性和准确性高。

主权项

使用扫描电镜测量固体颗粒膜片的扫描方法，其特征在于，扫描的步骤如下：1.1、固定膜片和调节扫描电镜参数：将膜片固定在扫描电镜的载物台上，调节工作距离为15±5mm、加速电压为20±5kV、真空度为20±10kPa和束斑为60±10，使扫描电镜清晰显示颗粒形貌图像；1.2、确定扫描电镜的扫描区域和扫描视场：将扫描区域划分为以下三部分：第一扫描区域是中心圆，该中心圆的圆心为膜片的中心，中心圆的直径为6mm；第二扫描区域是与中心圆同心的第一圆环，该第一圆环的内径为6mm，外径为12mm；第三扫描区域是中心圆同心的第二圆环，该第二圆环的内径为12mm，外径为18mm；然后划分每个扫描区域的扫描子区域，将第一扫描区域划分为n1个同心的扫描子区域，中心的第一扫描子区域为圆，其余的扫描子区域为同心圆环，n1＝6/0.6；将第二扫描区域划分为n2个同心圆环扫描子区域，靠近中心的扫描子区域为第二扫描区域第一扫描子区域，n2＝6/0.4；将第三扫描区域划分为n3个同心圆环扫描子区域，靠近中心的扫描子区域为第三扫描区域第一扫描子区域，n3＝6/0.2；1.3、扫描第一扫描区域：首先扫描第一区域的第一子区域，按照30°±10°步长进行圆周扫描，每个步长为一个扫描视场，拍摄每个扫描视场的照片并存储；然后按照相同方法扫描第一区域的第二子区域，直到完成第一区域所有子区域的扫描；1.4、扫描第二扫描区域：首先扫描第二区域的第一子区域，按照20°±10°步长进行圆周扫描，每个步长为一个扫描视场，拍摄每个扫描视场的照片并存储；然后按照相同方法扫描第二区域的第二子区域，直到完成第二区域所有子区域的扫描；1.5、扫描第三扫描区域：首先扫描第三区域的第一子区域，按照10°±5°步长进行圆周扫描，每个步长为一个扫描视场，拍摄每个扫描视场的照片并存储；然后按照相同方法扫描第三区域的第二子区域，直到完成第三区域所有子区域的扫描。