[发明专利]用于感测加速度的微机械系统无效
| 申请号： | 201010282277.X | 申请日： | 2010-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102012436A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于感测加速度的微机械系统，包括：基底，具有第一和对置的第二杠杆臂的摆臂式质量结构以及在基底上构造的第一和第二电极，这些杠杆臂设置得与基底间隔开并且可绕一转动轴线翻转，其中，每一个电极与一个杠杆臂对置，并且，每个杠杆臂包括一个从转动轴线延伸出的区段，所述区段位于电极之间的中间空隙的上方，两个区段具有不同的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加速度 微机 系统 | ||
【主权项】：
用于感测加速度的微机械系统(100)，包括：基底(105)；具有第一和对置的第二杠杆臂(130，135)的摆臂式质量结构(125)，这些杠杆臂安置得与基底(105)间隔开并且可绕一转动轴线(14)相对于基底(105)翻转；和在基底(105)上构造的第一和第二电极(110，115)，其中，每个电极各与一个杠杆臂(130，135)对置；其特征在于，每个杠杆臂(130，135)包括一个从所述转动轴线(140)延伸出的区段(160，165)，所述区段位于所述电极(110，115)之间的中间空隙的上方并且两个区段(160，165)具有不同的质量。
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