[发明专利]膜沉积方法

摘要

本发明公开了一种膜沉积方法，所述膜沉积方法在卷筒的周边表面周围的至少一个膜沉积室中将膜沉积在在圆筒形卷筒的周边表面上移动的条带形基板的表面上。所述方法包括下述步骤：预先在一个膜沉积室与包括缠绕空间的室之间设置差压室，所述缠绕空间包括基板开始在卷筒上移动的第一位置和基板与卷筒分离的第二位置中的至少一个，差压室与包括缠绕空间的室和至少一个膜沉积室连通；将缠绕空间的第一压力设置为低于至少一个膜沉积室的第二压力；以及利用供给至卷筒的电力，在至少一个膜沉积室中执行膜沉积。

主权项

一种膜沉积方法，其中膜在至少一个膜沉积室中被沉积在在圆筒形卷筒的周边表面上移动的条带形基板的表面上，所述至少一个膜沉积室包括通过使用所述卷筒的周边表面限定的空间，所述方法包括下述步骤：预先在一个膜沉积室与包括缠绕空间的室之间设置差压室，所述缠绕空间包括所述基板开始在所述卷筒上移动的第一位置和所述基板与所述卷筒分离的第二位置中的至少一个，所述差压室与包括所述缠绕空间的所述室和所述至少一个膜沉积室连通；将所述缠绕空间的第一压力设置为低于所述至少一个膜沉积室的第二压力；以及利用供给至所述卷筒的电力，在所述至少一个膜沉积室中执行膜沉积。