[发明专利]一种太阳电池硅片的表面织构方法有效

专利信息
申请号: 201010283057.9 申请日: 2010-09-16
公开(公告)号: CN101937946A 公开(公告)日: 2011-01-05
发明(设计)人: 杨德仁;顾鑫;余学功 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种太阳电池硅片的表面织构方法,包括如下步骤:利用低成本的化学法制备均匀的纳米级银颗粒溶液;去除硅片表面损伤层,并对硅片进行预织构;将纳米级银颗粒溶液均匀涂覆在经预织构处理的硅片上,干燥;将得到的硅片浸泡在由双氧水、氢氟酸和无水乙酸组成的混合溶液中30s~10min;再浸泡在质量百分比浓度为40%~60%的硝酸中1~10min,并用去离子水清洗,得到了表面反射率很低的硅片。本发明工艺流程简单可行,成本低能耗低,重复性好、可移植性好并且产出高,具有较好的应用前景。
搜索关键词: 一种 太阳电池 硅片 表面 方法
【主权项】:
一种太阳电池硅片的表面织构方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)制备纳米级银颗粒溶液,所述的银颗粒的平均尺寸为5~50nm;(2)去除硅片表面损伤层,并对硅片进行预织构,得到预织构硅片;(3)将步骤(1)制得的纳米级银颗粒溶液均匀涂覆在步骤(2)得到的预织构硅片上,干燥;其中,涂覆的厚度为0.1~1mm,干燥温度为80~100℃;(4)将步骤(3)制得的产物浸泡在由双氧水溶液、氢氟酸溶液和无水乙酸组成的混合溶液中30s~10min,双氧水溶液与氢氟酸溶液体积比为1∶0.2~1∶2,氢氟酸溶液与无水乙酸体积比为1∶100~1∶1;其中,双氧水溶液的质量百分比浓度为25‑35%,氢氟酸溶液的质量百分比浓度为35‑45%;(5)将步骤(4)得到的产物浸泡在质量百分比浓度为40%~60%的硝酸中1~10min,并用去离子水清洗。
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