[发明专利]固体摄像装置

摘要

根据一实施方式，固体摄像装置具有半导体基板。在该半导体基板的表面区域中设有第1至第3光电变换部。蓝色滤色器具有带来第1光程的膜厚。绿色滤色器具有带来比上述第1光程长的第2光程的膜厚。红色滤色器具有带来比上述第2光程长的第3光程的膜厚。平坦化膜形成在上述蓝色、绿色及红色的滤色器上，将上述滤色器的阶差平坦化。微透镜分别设在对应于上述第1至第3光电变换部的位置上，并且设在上述平坦化膜上。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于，具备：半导体基板；第1至第3光电变换部，设在该半导体基板的表面区域中；蓝色滤色器，设在对应于上述第1光电变换部的位置，具有带来第1光程的膜厚；绿色滤色器，设在对应于上述第2光电变换部的位置，具有带来比上述第1光程长的第2光程的膜厚；红色滤色器，设在对应于上述第3光电变换部的位置，具有带来比上述第2光程长的第3光程的膜厚；平坦化膜，形成在上述蓝色、绿色及红色的滤色器(多个)上，使上述滤色器(多个)的阶差平坦化；以及微透镜(多个)，分别设在对应于上述第1至第3光电变换部的位置，并且设在上述平坦化膜上。