[发明专利]有机EL用掩模清洗方法、有机EL用掩模清洗装置及有机EL显示器的制造装置

摘要

本发明的目的在于，提供一种有机EL用掩模清洗方法，在应用激光除去附着于有机EL用掩模的有机材料时，对有机EL用掩模不会造成不能复原的损害，获得高的清洁度。一种有机EL用掩模清洗方法，在附着了有机材料(51)的有机EL用掩模(2)的表面扫描激光而除去有机材料(51)，其照射在使激光(L)透过有机材料(51)照射到有机EL用掩模(2)时，将有机材料(51)维持在固态，且有机EL用掩模在照射后不变形的激光(L)。另外，通过照射激光(L)，在有机材料(51)和有机EL用掩模(2)间具有由温度差引起的热膨胀差，由此，对层间作用剥离力进行有机材料(51)的除去。

主权项

一种有机EL用掩模清洗方法，其在附着了有机材料的有机EL用掩模的表面扫描激光而除去所述有机材料，其特征在于，照射如下的激光：在透过所述有机材料地使所述激光照射到所述有机EL用掩模时，将所述有机材料维持在固态，且所述有机EL用掩模在照射后不变形的激光。