[发明专利]采用TiO2陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构及方法无效
| 申请号： | 201010286734.2 | 申请日： | 2010-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101935169A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 杨桂祥;岳志峰;赵永进;方志坚 | 申请（专利权）人： | 天津耀皮工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300409 天津市塘*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用TiO2陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构及方法；该玻璃的膜层结构自玻璃板向外依次为：玻璃/TiO2基层/底层电介质层/底银层/底层阻挡保护层层/中间复合电介质层/顶层银/顶层阻挡保护层/上层电介质层。方法是a)基板玻璃清洗、干燥；b)预真空过渡；c)镀陶瓷TiO2基层；d)镀底层电介质层；e)镀底层银；f)镀底层阻挡保护层；g)镀中间复合电介质层；h)镀顶层银；i)镀顶层阻挡保护层；j)镀上层电介质层。发明在具有TiO2有折射率高的特点，更有效的降低银层反射。TiO2膜有较强的耐腐蚀性能。氧化锌表面更适合于银层成膜，在同样银层厚度的情况下达到较低的辐射率，在氧化锌作为底层电介质层的情况下，先镀制一层陶瓷TiO2则结合了两种材料的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 tio sub 陶瓷 磁控溅射 玻璃 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种采用TiO2陶瓷靶磁控溅射的膜系玻璃结构，其特征在于，该玻璃的膜层结构自玻璃板向外依次为：玻璃/TiO2基层/底层电介质层/底银层/底层阻挡保护层/中间复合电介质层/顶层银/顶层阻挡保护层/上层电介质层。
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