[发明专利]区分P/N型硅料的显色溶液和区分方法有效
| 申请号： | 201010288247.X | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102004101A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞;刘彬;赵萌萌 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/78 | 分类号： | G01N21/78 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 夏素霞 |
| 地址： | 054001 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种区分P/N型硅料的显色溶液和区分方法，该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸＝1∶80～120；其中氢氟酸的质量分数为40～45％、硝酸质量分数65～68％。本显色溶液使清洗后的N型电子导电硅材料呈明亮色、P型空穴导电硅材料呈暗灰色，以实现清洗、分检比较容易的优点。经本发明显色溶液酸洗的非多晶硅料，表面的明、暗对比分明，P、N型用肉眼清晰可见，且用过的酸液还可以重复利用清洗硅料表面杂质；具有提高区分率、提升工作效率、提高单晶质量以及降低成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 区分 型硅料 显色 溶液 方法 | ||
【主权项】：
一种区分P/N型硅料的显色溶液，其特征在于，该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸＝1∶80～120；其中氢氟酸的质量分数为40～45％、硝酸质量分数65～68％。
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