[发明专利]具有低的热漂移的微机电z轴探测结构有效
| 申请号： | 201010288878.1 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN101987718A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | G·卡扎尼加;L·科罗纳托;B·希莫尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;唐文静 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 漂移 微机 探测 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS探测结构(10)，包括：‑具有顶表面(2a)的衬底(2)，其上至少设置有第一固定电极装置(5a)；‑传感块(3)，在一个平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底(2)和所述第一固定电极装置(5a)之上的分隔间距(gap1)处；以及‑连接弹性元件(8a，8b)，构造成支撑所述传感块(3)，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据将被探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距(gap1)；其特征在于，包括：耦合块(12)，悬浮在所述衬底(2)之上并且通过所述连接弹性元件(8a，8b)与所述传感块(3)连接；以及锚固装置(14，15)，构造成将所述耦合块(12)通过至少一个第一限制点(13)锚固到所述衬底上(2)，设置在与所述旋转轴(A)隔开一定距离，且位于与所述第一固定电极装置(5a)相应的位置。
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