[发明专利]阻气涂层和阻气膜

摘要

本发明提供一种阻气涂层和阻气膜。阻气涂层基于氮化硅，并且具有1至1.4的N/Si组成比和10至30原子％的氢含量。在所述涂层的傅里叶变换红外吸收光谱中，由Si-H伸缩振动引起的吸收峰出现在2170至2200cm-1的范围内的波数处，并且在由Si-H伸缩振动引起的吸收峰强度I(Si-H)与在840cm-1附近的由Si-N伸缩振动引起的吸收峰强度I(Si-N)之间的比率[I(Si-H)/I(Si-N)]为0.03至0.15。阻气膜包括沉积在玻璃化转变温度为130℃以下的树脂膜上的阻气涂层。

主权项

一种基于氮化硅的阻气涂层，其具有：1至1.4的N/Si组成比，和10至30原子％的氢含量，其中：在所述涂层的傅里叶变换红外吸收光谱中，由Si‑H伸缩振动引起的吸收峰出现在2170至2200cm‑1的范围内的波数处，并且由Si‑H伸缩振动引起的吸收峰强度I(Si‑H)与在840cm‑1附近由Si‑N伸缩振动引起的吸收峰强度I(Si‑N)之间的比率[I(Si‑H)/I(Si‑N)]为0.03至0.15。