[发明专利]集成磁弹性传感器无效
| 申请号： | 201010292171.8 | 申请日： | 2010-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101975591A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 周志敏;周勇;雷冲;陈磊;丁文 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电系统技术领域的集成磁弹性传感器，包括：玻璃衬底、磁场激励偏置线圈、信号接受线圈、传感器支撑、磁性带材和绝缘材料层，磁场激励偏置线圈位于玻璃衬底上，信号接受线圈位于磁场激励偏置线圈的上方，传感器支撑位于信号接受线圈上方，绝缘材料层分别位于磁场激励偏置线圈、信号接受线圈和传感器支撑之间，磁性带材的两端固定在传感器支撑上。本发明具有加工精度高，器件尺寸小，而且由于采用8字形采集线圈，可以消除激励信号在接受线圈中的背底信号，实现振动信号的实时监测，并可以实现便携式的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 弹性 传感器 | ||
【主权项】：
一种集成磁弹性传感器，包括：玻璃衬底、磁场激励偏置线圈、信号接受线圈、传感器支撑、磁性带材和绝缘材料层，其特征在于：磁场激励偏置线圈位于玻璃衬底上，信号接受线圈位于磁场激励偏置线圈的上方，传感器支撑位于信号接受线圈上方，绝缘材料层分别位于磁场激励偏置线圈、信号接受线圈和传感器支撑之间，磁性带材的两端固定在传感器支撑上。
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