[发明专利]检查系统以及检查方法

摘要

本发明的目的在于对粗糙表面工件适用相位移动法，从而高精度地检测其异常凹凸。为此，本发明的检查系统和检查方法以较浅的角度对条纹图案(5)映入检查对象面(SP)上的图像(P5)进行拍摄，并从接近工件(W)侧的端缘开始数起位于规定距离范围内的条纹图案映入图像(P5)中确定一个或者连续的多个单位条纹(5a)的映入图像(P5a)。并且，使所确定的单位条纹映入图像(P5a)的相位变化并适用相位移动法，以所述单位条纹映入图像(P5a)扫描检查对象面，以检测异常凹凸。

主权项

一种检查系统，其对设定在工件表面的检查对象面内的异常凹凸进行检查，其特征在于，包括：对单位条纹周期性连续的条纹图案进行显示的显示部，所述单位条纹由呈一定宽度的直线状的明部以及暗部构成；对映入所述检查对象面的所述条纹图案进行拍摄的拍摄单元；保持单元，其保持所述显示部，使得所述单位条纹的延伸方向与所述检查对象面大致平行，并且保持所述拍摄单元使得拍摄光轴相对于检查对象面倾斜；驱动所述保持单元或者工件，使它们的相对位置多次变化的相对位置设定部；确定部，其在所述各相对位置的条纹图案映入图像中，从接近工件侧的端缘开始数起位于规定距离范围内的映入图像中确定一个或者连续的多个单位条纹映入图像；相位变化部，其在所述各相对位置，使得从所述拍摄单元拍摄到的所述条纹图案在检查对象面上的映入位置每次错开1/n周期，其中n是2以上的整数；图像处理部，其能够根据所述各相对位置处的各相位的单位条纹映入图像判断所述检查对象面内的异常凹凸并进行输出，所述相对位置设定部利用在所述各相对位置被确定的单位条纹映入图像对各相对位置进行设定，使得所述检查对象面被覆盖。