[发明专利]管式扩散工艺中磷源的回收系统有效
| 申请号： | 201010294778.X | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102097290A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 潘景伟 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能和半导体等行业的管式扩散生产过程中无法利用的磷源的回收系统，包括气源、排液部分、回收部分和安全装置部分，排液部分和回收部分由生产线上更换下来的源瓶依次连接而成，排液部分与回收部分的源瓶连接方向相反，气源为高纯惰性气体，排液部分的源瓶的连接方式为第一个源瓶的出气管连接气源，最后一个源瓶的进气管与回收部分的第一个源瓶的进气管连接，中间源瓶的出气管与前一个源瓶进气管连通，中间源瓶进气管与后一个源瓶出气管连通，本系统的气源向排液部分通入高纯惰性气体如Ar或N2等后，磷源即会搜集到回收装置部分中，回收装置部分的源瓶可取出做生产使用。本系统将剩余的磷源在确保安全的情况下搜集到源瓶中回收利用，从而大大减少了磷源的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 工艺 中磷源 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种管式扩散工艺中磷源的回收系统，其特征是：包括气源(1)、排液部分(2)、回收部分(3)和安全装置部分(4)，排液部分(2)和回收部分(3)由生产线上更换下来的源瓶(5)依次连接而成，排液部分(2)与回收部分(3)的源瓶(5)连接方向相反，气源(1)为高纯惰性气体，排液部分(2)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的出气管(51)连接气源(1)，最后一个源瓶(5)的进气管(52)与回收部分(3)的第一个源瓶(5)的进气管(52)连接，中间源瓶(5)的出气管(51)与前一个源瓶(5)的进气管(52)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与后一个源瓶(5)的出气管(51)连通；回收部分(3)的源瓶(5)的连接方式为第一个源瓶(5)的进气管(52)连接排液部分(2)的源瓶(5)，最后一个源瓶(5)的出气管(51)与安全装置部分(4)连通，中间源瓶(5)的进气管(52)与前一个源瓶(5)的出气管(51)连通，中间源瓶(5)的出气管(52)与后一个源瓶(5)的进气管(52)连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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