[发明专利]基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法

摘要

本发明涉及一种基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法。传统的定位方法精度不高。本发明中的双频激光器输出两频差为的正交线偏振光，入射到光学镜组，构成外差式双频激光干涉仪。双频激光干涉仪作为微位移监测单元，实时监测微动工作台偏移锁定位置所发生的位移，同时双频激光干涉仪输出测量光，双频激光器输出参考光，测量光和参考光经光电转换后进行鉴相电路，鉴相后输出与相位差相对应的模拟电压，作为控制电压驱动微动工作台的移动。本发明省却相位差转换为位移的环节，减少了误差项，使得系统装置简单易行，且大大提高了系统的频率响应及定位精度。

主权项

基于外差式激光干涉仪的纳米静态锁定定位方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤(1)双频激光器输出频差为10～30MHZ的正交线偏振光，入射光学镜组；双频激光器和光学镜组构成外差式激光干涉仪；步骤(2)外差式激光干涉仪作为微位移监测单元，实时监测微动工作台偏移锁定位置所发生的位移，同时外差式激光干涉仪输出测量光；所述的微动工作台上设置有光学镜组中的第二平面镜；步骤(3)双频激光器输出参考光经第一光电接收器后转化为第一电信号，第一电信号输入到鉴相电路的一个输入端；外差式激光干涉仪输出测量光经第二光电接收器后转化为第二电信号，第二电信号输入到鉴相电路的另一个输入端；步骤(4)鉴相电路对第一电信号和第二电信号进行鉴相后输出与相位差相对应的模拟电压；步骤(5)鉴相电路输出的模拟电压输送至微位移发生驱动电源的控制端，作为控制电压控制微位移发生驱动电源；步骤(6)微位移发生驱动电源根据控制电压的大小，驱动微动工作台，使微动工作台产生相应的位移，实现微动工作台的静态锁定定位。