[发明专利]一种太阳能电池片的制作方法有效
申请号: | 201010502146.8 | 申请日: | 2010-10-11 |
公开(公告)号: | CN101982889A | 公开(公告)日: | 2011-03-02 |
发明(设计)人: | 李虎;张世杰;李秉霖;吴志强;武明;刘斌贤 | 申请(专利权)人: | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 宋玉霞 |
地址: | 山东省济南市经十东路3076*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于太阳能电池片制作技术领域,具体涉及一种太阳能电池片的制作方法,包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤,在镀减反射膜的过程中,采用管式PECVD镀膜的方法,以石墨舟作为硅片载体,本制作方法为在镀减反射膜时,等离子体电离并沉积的过程中,通过石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片,本发明的可控性及可重复性好,灵活性高,可以实现小面积内彩色化。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制作方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池片的制作方法,包括制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃、镀减反射膜、丝网印刷、烧结等步骤,在镀减反射膜的过程中,采用管式PECVD镀膜的方法,以石墨舟作为硅片载体,其特征在于,所述石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的石墨舟板面设有凸起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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