[发明专利]表面形状的检查方法及检查装置

摘要

本发明提供一种以廉价的装置结构，能够除去背面反射图像的影响，高精度地检查表面形状的特性的检查方法及检查装置。首先，作为透明板状体(3)(被检查物体)适用的条纹图案，决定以透明板状体的表面形成的反射图像和透明板状体的背面形成的反射图像在通过拍摄而得到的图像信号分离的方式设定的、具有明暗图案的条纹图案(1)。其后，使用所决定的条纹图案(1)，只用条纹图案(1)的由透明板状体(3)的表面形成的反射图像，通过图像分析对透明板状体(3)的表面形状进行评价。

主权项

一种表面形状的检查方法，向透明板状体照射条纹图案，拍摄由该透明板状体的表面形成的条纹图案的反射图像，基于通过拍摄得到的图像信号检查所述透明板状体的表面形状，其特征在于，包括：条纹图案决定工序，决定具有明暗图案的条纹图案，所述明暗图案以由所述透明板状体的表面形成的反射图像和由所述透明板状体的背面形成的反射图像在通过所述拍摄得到的图像信号中分离的方式设定；及表面形状检查工序，只使用通过拍摄得到的图像信号所包含的反射图像中的、由所述透明板状体的表面形成的所述条纹图案的反射图像，检查所述透明板状体的表面形状。