[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种即使在产生故障的情况下也能不停止整个装置地继续基板处理的可能性高的基板处理装置。基板处理装置(1)包括第1、第2处理区(14a、14b)，该第1、第2处理区包括：用于输送基板(W)的第1、第2基板输送机构(141a、141b)；分别设于该基板输送机构(141a、141b)左右两侧，进行相同处理的处理单元的列(U1～U4)。处理单元的列(U1、U3)和另一方侧的处理单元的列(U2、U4)分别与共用化的处理流体的供给系统(3a、3b)连接。而且，在任一基板输送机构(141a、141b)、处理流体的供给系统(3a、3b)产生故障时，仍能用正常工作的基板输送机构(141b、141a)、处理流体的供给系统(3b、3a)所对应的处理单元的列(U1～U4)来处理基板(W)。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：基板搬入区，其包括：容器载置部，其用于载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有基板；交接机构，其用于相对于载置在该容器载置部的基板收纳容器进行基板的交接，第1处理区，其与该基板搬入区相邻地设置，用于对从该基板搬入区接受的基板进行处理，其包括：第1基板输送机构，其用于沿着直线输送路径输送基板；处理单元的列，分别设于该第1基板输送机构的左右两侧，由利用上述第1基板输送机构进行基板的交接并且分别利用处理流体对基板进行相同的处理的多个处理单元构成，第2处理区，其与该第1处理区相邻设置，用于对从上述基板搬入区接受的基板进行处理，其包括：第2基板输送机构，其用于沿着直线输送路径输送基板；处理单元的列，分别设于该第2基板输送机构的左右两侧，由利用上述第2基板输送机构进行基板的交接并且对基板分别进行与上述处理单元相同的处理的多个处理单元构成，一个处理流体供给系统，其被上述第1处理区的左右的处理单元的列中的一列和上述第2处理区的左右的处理单元的列中的一列共用，另一个处理流体供给系统，其被上述第1处理区的左右的处理单元的列中的另一列和上述第2处理区的左右的处理单元的列中的另一列共用，控制部，其进行如下控制：在上述第1处理区和第2处理区中的一个处理区的基板输送机构产生故障时，使用另一个处理区处理基板，在一个处理流体供给系统和另一个处理流体供给系统中的任一个产生故障时，使用未产生故障的处理流体的供给系统所对应的处理单元的列来处理基板。