[发明专利]一种三瓣石墨坩埚单晶炉无效
| 申请号： | 201010504404.6 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102115909A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 钟小平 | 申请（专利权）人： | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311227 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型三瓣石墨坩埚单晶炉，包括炉壳、保温层、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶，石墨坩埚的里面设置石英坩埚，石墨坩埚的外面设置加热器，加热器的外面设置保温层，所述石墨坩埚三瓣侧壁间拼缝与径向成40度-45度斜角。解决了现有石墨坩埚之间的拼缝是径向的，这样的拼缝不严密时，拼缝间隙处热辐射容易射入，直接给石英坩埚加热，坩埚内受热不均匀，造成单晶旋转性缺陷，影响晶体品质的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三瓣 石墨 坩埚 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种三瓣石墨坩埚单晶炉，包括炉壳（1）、保温层（14）、石英坩埚（3）、石墨坩埚（2）、加热器（5）和保温桶，石墨坩埚（2）的里面设置石英坩埚（3），石墨坩埚（2）的外面设置加热器（5），加热器（5）的外面设置保温层（14），其特征是，所述石墨坩埚（2）三瓣侧壁间拼缝与径向成40度‑50度斜角。
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