[发明专利]机械手臂表面金属污染检测方法无效
| 申请号： | 201010504624.9 | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102095599A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王硕;许忠义 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02;G01N27/64 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种机械手臂表面金属污染检测方法，所述方法包括：机械手臂表面金属成分取样装置的制备；容量瓶的准备及清洗；清洗溶剂的煎蘸；机械手臂表面擦拭；机械手臂表面金属成分的提取；机械手臂表面金属污染检测。其中，所述取样装置包括握持部和固定在握持部一端的方头取样部。所述取样部由无尘布制备。本发明通过采用由无尘布制备的取样部所构成的取样装置进行机械手臂表面金属成分取样，并通过感应耦合等离子体质谱仪进行表面金属污染检测，不仅减少了晶圆的浪费，节约了制造成本。同时，本发明机械手臂表面金属污染检测方法操作方便、简单，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 表面 金属 污染 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种机械手臂表面金属污染检测方法，其特征在于：所述方法包括：机械手臂表面金属成分取样装置的制备；容量瓶的准备及清洗；清洗溶剂的煎蘸；机械手臂表面擦拭；机械手臂表面金属成分的提取；机械手臂表面金属污染检测。
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