[发明专利]波导耦合表面等离子体激元光检测器无效
| 申请号： | 201010506878.4 | 申请日： | 2010-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102032945A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | B·A·布洛克 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;H01L31/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;徐予红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明波导耦合表面等离子体激元光检测器。金属半导体金属(MSM)装置将光从波导中的光模式耦合到MSM装置的电极表面上的表面等离子体激元(SPP)模式。一旦在SPP模式中，半导体中光的吸收便能在极小的区域中发生。这可允许缩小活动检测器区域，并允许用于电载流子的极短传输距离、低电容以及允许极低电压装置和/或极高频率。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 耦合 表面 等离子体 激元光 检测器 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：波导，携带波导模式中的光信号；金属半导体金属(MSM)光检测器，包括：第一电极；第二电极；以及半导体材料，夹在所述第一电极与所述第二电极之间，其中所述MSM光检测器将所述光信号从波导模式转变为表面等离子体激元(SPP)模式。
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