[发明专利]大直径水晶圆片倒角工装及其倒角方法无效
| 申请号： | 201010507574.X | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101972981A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 宋红杰;许建峰 | 申请（专利权）人： | 北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 黄军委 |
| 地址： | 454650 河南省济*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种大直径水晶圆片倒角工装及其倒角方法，该倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩，所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体，所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂，所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上，所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。该倒角方法包括：启动四轴研磨机并调整转速；采用水晶圆片真空粘钩吸附住水晶圆片；将水晶圆片与球形凹面接触，通过旋转的球形凹面对水晶圆片的边缘进行倒角。该倒角工装具有工作效率高、易于操作、制造成本低廉的优点；该倒角方法具有工艺简单、研磨效果理想、倒角质量可靠、无崩边的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 直径 水晶 倒角 工装 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种大直径水晶圆片倒角工装，其特征在于：该大直径水晶圆片倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩，所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体，所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂，所述碗型倒角工装的连接体安装于所述四轴研磨机的传动轴上，所述水晶圆片真空粘钩中心对应所述球形凹面的中心设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司，未经北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010507574.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光屏障以及用于检测对象的方法
- 下一篇：用于断路器测试仪的可调节电探针
