[发明专利]用于气浮轴承的气浮垫有效
| 申请号： | 201010508109.8 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102444669A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 葛黎黎;王茜 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的用于气浮轴承的气浮垫用于连接滑块和导轨，包括上支座、下支座和连接部件；所述连接部件的一端与所述上支座活动连接，该连接部件能相对所述上支座在一定范围内移动；所述连接部件的另一端与所述下支座的一端连接，所述下支座的另一端的端面为气浮面；所述连接部件相对所述上支座的移动带动所述下支座移动，从而改变所述气浮面与所述导轨之间的空气间隙。本发明的用于气浮轴承的气浮垫可在气浮轴承工作时调节气膜厚度，使气浮刚度达到最佳值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 轴承 气浮垫 | ||
【主权项】：
一种用于气浮轴承的气浮垫，用于连接气浮轴承的滑块和导轨，其特征在于，包括上支座、下支座和连接部件；所述连接部件的一端与所述上支座的一端活动连接，该连接部件相对所述上支座移动，所述上支座的另一端与所述滑块连接；所述连接部件的另一端与所述下支座的一端连接，所述下支座的另一端的端面为气浮面，所述气浮面面向所述导轨；所述连接部件相对所述上支座的移动带动所述下支座移动，从而改变所述气浮面与所述导轨之间的空气间隙。
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