[发明专利]用于控制静电夹钳的系统及方法有效
| 申请号： | 201010510604.2 | 申请日： | 2010-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102081362B | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | P·麦卡恩;上原利夫 | 申请（专利权）人： | 特瑞克股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于控制、监测和优化静电夹钳的系统。在本发明的一个实施例中，有计算机、控制电路和至少一个放大器。同样，可包括信号评价电路并且用于提供感测信号至控制电路的输出信号。该信号评价电路可以提供能够用于监测静电夹钳的电容的感测信号。另外，信号评价电路可以包括监测静电夹钳性能的线路并且提供性能信息给控制电路。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 静电 夹钳 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于控制静电夹钳的系统，包括：计算机，所述计算机编程以从用户处接受控制信息并且提供对应于所述控制信息的数字命令；控制电路，所述控制电路具有能够接受数字命令并且提供对应于所述数字命令的输出信号的电路；信号评价电路，用于提供感测信号至所述控制电路的所述输出信号来产生夹钳信号；至少一个放大器，所述至少一个放大器具有用于接收所述夹钳信号的输入端口以及用于提供高电压控制信号至至少一个静电夹钳的电极的输出端口；且所述信号评价电路被配置为使用所述感测信号来监测所述静电夹钳的性能。
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