[发明专利]粒子束装置、光阑组件及在粒子束装置中改变束流的方法有效
| 申请号： | 201010510825.X | 申请日： | 2010-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101996839A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 德克·普雷克扎斯;迈克尔·阿尔比兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司NTS有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/09;H01J37/141 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 光阑 组件 改变 方法 | ||
【主权项】：
一种粒子束装置(1)，具有粒子束产生器(2)，用于产生形成粒子束的粒子；物镜(10)，用于将粒子束聚焦到样品(16)上；第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)和第二聚采透镜(7，7a，7b，7c)，从所述粒子束产生器(2)朝向所述物镜(10)观察，首先放置所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)，然后是所述第二聚束透镜(7，7a，7b，7c)；第一光阑组件(8)，其位于所述粒子束产生器(2)和所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)之间；以及第二光阑组件(9)，其位于所述第一聚束透镜(6，6a，6b，6c)和所述第二聚束透镜(7，7a，7b，7c)之间；其中所述第一聚束透镜(6)具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)，其中，从所述粒子束产生器(2)朝向所述物镜(10)观察，首先放置所述第一极靴(6a)，然后是所述第二极靴(6b)；可以相对于所述第二光阑组件(9)相互独立地调整所述第一极靴(6a)以及所述第二极靴(6b)；并且优选是薄膜光阑的所述第二光阑组件(9)是将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互分隔开的压力级光阑。
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