[发明专利]废微蚀液再生与铜回收装置

摘要

一种废微蚀液再生与铜回收装置，它以电路板待加工工件于微蚀刻槽内形成已加工工件，在此过程中以过氧化氢-硫酸型溶液为微蚀刻液，脫除工件表面的氧化铜和极少量金属铜，使微蚀刻液铜离子浓度增加成为废微蚀刻液，经过脱除废微蚀液中残存过氧化氢,电积铜离子为金属铜,补充微蚀液中损失组分至合格微蚀液，合格微蚀液返回微蚀刻槽的再生循环过程。它克服了现有电路板企业的电路板微蚀刻工艺中的微蚀废液只经简单处理后即被排放，且处理过程浪费大，资源损失严重的缺陷；适合作各种电路板生产企业的电路板含铜废微蚀废液再生循环与铜回收。

主权项

一种废微蚀液再生与铜回收装置，其特征在于它包括在微蚀刻槽（1）侧壁的上部设置溢流管路连接废液储槽（2），废液储槽（2）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅰ（4）连接过氧化氢分解循环槽（6），过氧化氢分解循环槽（6）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅱ（7）分别连接过氧化氢分解器（22）和电积循环槽（8），过氧化氢分解器（22）的出液管路连接过氧化氢分解循环槽（6）；电积循环槽（8）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅲ（9）分别连接电积槽（18）和配制槽（10），电积槽（18）的出液管路连接电积循环槽（8）；配制槽（10）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅳ（11）连接微蚀液槽（12），微蚀液槽（12）侧壁下部的管路经阀门Ⅰ（3）和输液泵Ⅴ（13）连接微蚀刻槽（1）；所述废液储槽（2）中的废微蚀液成分为铜离子浓度为30～60g/L，过氧化氢1.5～11.5g/L，硫酸35～85g/L，稳定剂的重量百分比小于2.5%，溶液载体为去离子水。