[发明专利]一种薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池，包括具有光伏单元的外延片，以及覆盖复合于外延片两侧的前电极及背电极，光伏单元为薄膜结构的PN结或PIN结，前电极为透明导电薄膜或具图形结构的多层金属薄膜，太阳能电池在其朝向太阳辐照的一侧具有减反射膜。其制备方法包括：(1)太阳能电池外延片的生长；(2)外延片两侧沉积制作前电极和后电极并退火；(3)在外延片上制备隔离沟槽，并对隔离沟槽进行清洗和绝缘钝化处理，制得窗口区；(4)对外延片的窗口区制作减反射膜。本发明利用多层薄膜材料的沉积，增强太阳光进入太阳能电池结构层，提高光电转换效率。

主权项

一种薄膜太阳能电池，包括具有一个或一个以上光伏单元的外延片，以及覆盖复合于所述外延片两侧的前电极及背电极，其中所述光伏单元为薄膜结构的PN结或PIN结，所述前电极为透明导电薄膜或具图形结构的多层金属薄膜，其特征在于：所述太阳能电池在其朝向太阳辐照的一侧具有减反射膜的结构，所述减反射膜与前电极、外延片和背电极一并构成薄膜复合结构的太阳能电池。