[发明专利]用于形成有机聚合物薄膜的方法及设备有效
| 申请号： | 201010511766.8 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102041478A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 野口真淑;桃野健;入仓钢 | 申请（专利权）人： | 小岛冲压工业株式会社;株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 苏娟;李瑞海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于在基底的表面上形成具有高成膜效率和良好再现性和稳定性的有机聚合物薄膜的技术。当在基底(12)的表面上反复进行用于形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合时，将在真空状态的多个蒸发源容器(32a、32b)中蒸发的多种单体引入到真空状态的沉积室(10)中并使其聚合在沉积室(10)中布置的基底(12)的表面上，每次在单体的蒸发操作开始时，液态形式的每种单体以恒定的量存在于蒸发源容器(32a、32b)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 有机 聚合物 薄膜 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种形成有机聚合物薄膜的方法，包括以下步骤：使多种单体在真空状态的多个蒸发源容器中进行蒸发操作；和将蒸发的所述多种单体引入到真空状态的沉积室中，以使其聚合在沉积室中布置的至少一个基底的表面上，由此进行真空沉积聚合，所述真空沉积聚合是在所述至少一个基底的所述表面上形成有机聚合物薄膜的操作，其中，在所述多种单体的蒸发操作中，所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。
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