[发明专利]一种晶片传递装置无效
| 申请号： | 201010512597.X | 申请日： | 2010-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102019615A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 侯宪华;赵宇 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J19/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片传递的技术，具体是一种晶片传递装置，它是实现对晶片传递的机械手装置，可解决传统的晶片传递装置传递效率低、传递速度慢等问题。该装置升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传动带轮I，传动带轮I与丝杠上的传动带轮II通过带传动；旋转电机的输出端设有旋转减速器，旋转减速器的输出端设有传动带轮III，传动带轮III与丝杠上的传动带轮IV通过带传动；传动带轮IV的输出端与连接块相连，连接块上安装有伸缩装置，伸缩装置的输出端设置伸缩手臂，伸缩手臂的前端安装有手指。本发明通过升降、旋转、伸缩同时联动，单位时间内完成三个方向的运动，从而迅速、准确的将晶片传递到预期位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 传递 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片传递装置，其特征在于：该装置设有升降电机、升降减速器、传动带轮、丝杠、旋转电机、旋转减速器、连接块、手指、伸缩手臂，升降电机的输出端设有升降减速器，升降减速器的输出端设有传动带轮I，传动带轮I与丝杠上的传动带轮II通过带传动；旋转电机的输出端设有旋转减速器，旋转减速器的输出端设有传动带轮III，传动带轮III与丝杠上的传动带轮IV通过带传动；传动带轮IV的输出端与连接块相连，连接块上安装有伸缩装置，伸缩装置的输出端设置伸缩手臂，伸缩手臂的前端安装有手指。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳芯源微电子设备有限公司，未经沈阳芯源微电子设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010512597.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铝合金铸造陶瓷导液管的制备方法
- 下一篇：内置三个中空阀杆的加注枪
