[发明专利]半导体专用切削液无效
申请号: | 201010513465.9 | 申请日: | 2010-10-21 |
公开(公告)号: | CN102453595A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 周珉 | 申请(专利权)人: | 河北伟业电子材料有限公司 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M173/02;C10N40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 075600 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体专用切割液,采用专用科技配方合成,本品无毒无异味、不挥发、不易燃、化学性能稳定,主要用于太阳能硅片的多线切割,具有悬浮、分散、冷却功能、溶于水。是替代进口,降低成本的理想绿色环保产品。本产品具有优良的润滑性,防锈性同时也有着高速切削时所需要的润湿性和冷却性,用于各类半导体材料切割,也可用于一般有色金属切割。 | ||
搜索关键词: | 半导体 专用 切削 | ||
【主权项】:
一种半导体专用切削液,其特征在于,主要由聚乙二醇、pH值调节剂、螯合剂组成,其组分及生产浓度质量份数为:分子量200‑1000聚乙二醇30‑90,pH值调节剂9‑30,螯合剂1‑10,去离子水余量。
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