[发明专利]一种离子注入低能透镜无效
| 申请号： | 201010513564.7 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102446682A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;曹远翔;刘世勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入低能透镜，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：入口电极(1)、出口电极(2)、中间聚焦电极(3)、安装法兰(4)、两个连接棒(5)、绝缘供电连接(6)。所述的入口电极(1)、出口电极(2)分别与连接棒(5)的一端连接，连接棒(5)的另一端连接到安装法兰(4)；所述的安装法兰(4)用于固定连接棒(5)和绝缘供电连接(6)，处在地电位；所述的中间聚焦电极(3)和绝缘供电连接(6)连接，与入口电极(1)、出口电极(2)之间绝缘；所述的绝缘供电连接(6)一端连接中间聚焦电极(3)，另一端连接外部电源，向聚焦电极(3)供电，连接电源端具有两个连接口，可用于检测实际供电状态。入口电极(1)、出口电极(2)和中间聚焦电极(3)共同组成膜片透镜结构，实现了在低能模式下对离子束实行先扩散后聚焦，总体实现的聚焦的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 低能 透镜 | ||
【主权项】：
一种离子注入低能透镜包括：入口电极(1)、出口电极(2)、中间聚焦电极(3)、安装法兰(4)、两个连接棒(5)、绝缘供电连接(6)。所述的入口电极(1)、出口电极(2)分别与两个连接棒(5)的一端连接，两个连接棒(5)的另一端连接到安装法兰(4)；所述的安装法兰(4)用于固定连接棒(5)和绝缘供电连接(6)，处在地电位；所述的中间聚焦电极(3)和绝缘供电连接(6)连接，与入口电极(1)、出口电极(2)之间绝缘；所述的绝缘供电连接(6)一端连接中间聚焦电极(3)，另一端连接外部电源，向聚焦电极(3)供电；
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