[发明专利]采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路

摘要

本发明公开了一种采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路，该反馈控制电路可与电容式微加速度计以及常见的电容读出前端配合，构成闭环结构的电容式微加速度计读出系统。本发明电路包括用于将外部输入的反馈控制电压Vin_FB与内部产生的锯齿波电压进行比较的比较器，带使能端的锯齿波发生器，用于产生两路互补控制时钟的逻辑块，以及多个静电力反馈控制开关。整个电路受一路静电力反馈控制时钟phFB控制。本发明电路通过三端子接口TOP、CTR、BOT与电容式微加速度计相连接，实现了高线性度的模拟静电力反馈，且其线性度对微加速度计的结构失配不敏感。

主权项

一种采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法，其特征在于，包括：a)在全局时钟的控制之下，根据输入的反馈控制信号幅值的变化，生成两路脉宽互补的反馈控制时钟，脉宽之差与反馈控制信号的幅值成线性关系；b)这两路时钟分别控制着每一个时钟周期内，微加速度计可动质量块受到的分别指向固定极板TOP与固定极板BOT的静电力的作用时间；c)由于极板间所施加电压是固定的，因此每一个时钟周期内，可动质量块受到的净作用力与作用时间之差有关，静电力反馈的线性度取决于反馈控制信号与静电力作用时间之差的转换关系的线性程度，而对微加速度计的结构失配不敏感。