[发明专利]一种用于离子注入机的分析光栏无效
| 申请号： | 201010514130.9 | 申请日： | 2010-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN102446681A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;邓颖辉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于离子注入机的分析光栏，包括：两个旋转水接头2，两对快插接头1，与旋转水接头2相连的两个同步带轮3，其中，通过法兰结构4，同步带轮3带动磁流体密封组件5以及和磁流体密封组件5相连接的石墨筒6转动，其中同步带轮3可以通过电机带动旋转，且旋转速度达到1700rpm以上，石墨筒6的高速旋转使粒子能够接触到更大面积的石墨，以加强散热效果，从而延长分析光栏的使用寿命。其中两个石墨筒6的旋转方向相反，避免了非注入粒子进入离子束中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 分析 | ||
【主权项】：
本发明提供一种用于离子注入机的分析光栏，包括：两个旋转水接头2，两对快插接头1，与旋转水接头2相连的两个同步带轮3，通过法兰结构4，同步带轮3带动磁流体密封组件5以及和磁流体密封组件5相连接的石墨筒6转动。
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