[发明专利]一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀

摘要

一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其由柔性聚合物结构层，底板，形状记忆合金丝和焊盘组成；聚合物结构层内设微流道结构，微流道结构包括：流体入口和出口；两端分别与入口和出口相通的内部流体流道；流道中部断开成中间断开结构；断开结构中间下表面周围为中间疏水隔断区；疏水隔断区之外的聚合物结构层下表面与底板由粘接层粘接；形状记忆合金丝中部弯成凹陷状，其凹陷状中心底端与疏水隔断区正上方的聚合物结构层粘接固定，合金丝两端分别依次穿过聚合物结构层和底板，并分别与底板背面上的焊盘焊接，两焊盘分别与驱动电源的正负极相连；具有制作简单、易与微流控芯片系统集成、工作可靠、常闭结构、可进行流量调节、尺寸小等特点。

主权项

一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀，其由柔性聚合物结构层(3)，底板(6)，形状记忆合金丝(1)以及焊盘(7)组成；所述柔性聚合物结构层(3)内部设有微流道结构，所述微流道结构包括：一流体入口(2)；一流体出口(8)；其两端分别于所述流体入口(2)和流体出口(8)相连通的一内部流体流道(9)；所述内部流体流道(9)中部断开形成中间断开结构(10)；所述断开结构中间下表面周围设一中间疏水隔断区(4)；所述中间疏水隔断区(4)之外的所述柔性聚合物结构层(3)下表面与所述底板(6)通过粘接层(5)粘接在一起；所述形状记忆合金丝(1)中部弯成凹陷状，所述形状记忆合金丝(1)的凹陷状中心底端与中间疏水隔断区(4)正上方的柔性聚合物结构层(3)上表面粘接固定，所述形状记忆合金丝(1)的两端分别依次穿过柔性聚合物结构层(3)和底板(6)，并分别与设置于所述底板(6)下表面上的第一焊盘(7)和第二焊盘(71)焊接固定，所述第一焊盘(7)和第二焊盘(71)分别与驱动电源的正负极相连。