[发明专利]废气处理热循环烘干系统无效
| 申请号： | 201010515425.8 | 申请日： | 2010-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN102163643A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陆祖宏;王鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江哈氟龙新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B01D53/86;B01D53/72;B05D3/02 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 胡坚 |
| 地址： | 311113 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种废气处理热循环烘干系统，其特征在于，包含以下结构：一组烘箱，所述烘箱相互串联形成一个分段式的多级烘干系统；一个废气处理热循环装置；一组管道，其分别设置在相应的所述烘箱上，所述烘箱分别通过各自相对应的管道连通到所述废气处理热循环装置上；其中，所述热循环装置对所述烘箱中烘干过程中产生的废气进行收集、燃烧和处理，并且利用废气的燃烧热通过换热向所述各烘箱供热。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 循环 烘干 系统 | ||
【主权项】：
一种废气处理热循环烘干系统，其特征在于，包含以下结构：一组烘箱(1)，所述烘箱(1)相互串联形成一个分段式的多级烘干系统；一个废气处理热循环装置(2)；一组管道(3)，其分别设置在相应的所述烘箱(1)上，所述烘箱(1)分别通过各自相对应的管道(3)连通到所述废气处理热循环装置(2)上；其中，所述热循环装置(2)对所述烘箱(1)中烘干过程中产生的废气进行收集、燃烧和处理，并且利用废气的燃烧热通过换热向所述各烘箱(1)供热。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
