[发明专利]压电材料及压电元件有效
申请号: | 201010517412.4 | 申请日: | 2009-04-01 |
公开(公告)号: | CN102044628A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 滨田泰彰;木岛健 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/18 | 分类号: | H01L41/18;H01L41/08;B41J2/045 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种特性良好的非铅系压电材料。尤其是能够提高以Bi(Fe、Mn)O3及Ba(Zr、Ti)O3为基础的压电材料的特性。本发明的压电元件的特征在于,具有:第一电极(6)、配置于所述第一电极上的压电体膜(9)、配置于所述压电体膜上的第二电极(11),其中,构成所述压电体膜的压电材料为由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti)O3的混合晶构成的压电材料,并由组成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示,且0<x<0.40、0.01<y<0.1及0≤u<0.16。根据这样的构成,能够维持Bi(Fe1-yMny)O3的自发极化量及高居里温度,通过Ba(ZruTi1-u)O3能够实现压电特性的提高。 | ||
搜索关键词: | 压电 材料 元件 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,其具有:压电体膜、配置于所述压电体膜的电极,其中,所述压电体膜由含Bi(Fe、Mn)O3及BaTiO3的混合晶构成。
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